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產品詳細
| 測量方向 | ±X ±Y +Z | |
| 更改位置 |
A軸手動（垂直方向）:0-90°（15°增量） B軸手動（水平方向）:±180°（15°增量） |
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| 重復定位精度 | σ≤1.5um | |
| 重復精度（2σ） | 0.35um以下（帶標準測力10mm測針） | |
| 方向性（XY：2D） | ±0.8um以下（帶標準測力10mm測針），±2.5um以下（帶50mm測針） | |
| 方向性（XYZ：3D） | ±1um以下（帶10mm測針），±4um以下（帶50mm測針） | |
| 測力 | XY | 0.08N（標準測力）帶10mm測針 0.1N（中等測力），帶25mm測針 |
| Z |
0.75N（標準測力） 1.9N（中等測力） |
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| 超程范圍 | XY | ±14° |
| Z | +4.0mm(標準測力） +3.7mm(中等測力） | |
| 超程測力 | XY |
0.2-0.3N(標準測力） 0.2-0.4N（中等測力） |
| Z |
3.5N(標準測力） 7N（中等測力） 10N（超大測力） |
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| 最大測針長度 | 50mm(標準測力） 60mm(中等測力） | |
| 測針安裝方法 | M2螺紋 | |
| 單個裝置的質量 | 250g | |
| 耐久性 | 1.000.000次 | |
| 測座 | 無 | |
| 適用的型號 | 手動/CNC三坐標測量機 | |
| 注 | 任何小于Ф1mm的測針應與低測力模塊一起使用 | |
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